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羅茨滑閥真空機組由羅茨真空泵與滑閥真空泵串聯組成，滑閥真空泵作為預抽真空泵以及羅茨泵的前級真空泵使用，羅茨真空泵作為主抽真空泵。羅茨真空泵與滑閥真空泵抽速比大小選擇的主要依據是機組中工作時間較長的真空泵，如果該泵長期工作在低真空區間，宜選擇較小的抽速比（2:1或4:1），如果該泵長期工作在中高真空區間，則可選擇較大的抽速比（4:1或10:1）。

特點：

1.真空度高，中高真空區間抽氣速率高，工作范圍寬，節能效果顯著；

2.一體化機組，結構緊湊，占地面積??；

3.自動化程度高，操作簡單，維護方便，運行安全，可靠耐用。

適用范圍：

廣泛應用于真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空干燥、真空浸漬、真空濾油、多晶硅生產、航空航天模擬實驗等領域。